薄膜与微细技术教育部重点实验室

实验室主任

名誉主任


张亚非教授

 张亚非,教授/理学博士,薄膜与微细技术教育部重点实验室名誉主任,亚太材料科学院院士,长江学者特聘教授,上海市领军人才,优秀留学回国人员,IEEE高级会员,JCR Q1区SCI专业英文国际学术期刊《Nano-Micro Letters》主编。

  长期研究纳米电子材料与器件技术和纳米半导体集成电路技术,在纳米电子材料制造(金刚石薄膜、碳纳米管、Si、SiC、Ge、ZnO、SnO2、NiO等纳米线)、纳米加工技术(纳米焊接、纳米剪切、纳米操纵排布、纳米组装、纳米掩膜光刻、表面纳米修饰和钝化等)和纳米电子器件(FET、光伏电池、传感器等)与纳米集成电路技术等方面取得了系列的创新研究成果。

  发表SCI学术论文200多篇,被引用4000余次,其中多篇被选为封面论文,撰写高影响力的专业著作:

(1) “半导体集成电路制造技术”, 2006年6月高等教育出版社ISBN7-04-018299-8, 47万字,被认为IC制造技术领域的国内第一本中文著作,填补了纳米集成电路和国内无中文教材空白,第一版3千册售罄后在准备再版;

(2)Mutilyer Integreated Film Bulk Acoustic Resonator,Springer-Verlag, ISBN9783642317767, DOI 10.1007/9783642-317767,2012.11月出版, Springer报告2013年此著作eBook在网上缴费下载达1175 次之高,属于创新器件领域奠基性英文专著;

(3)薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用,上海交通大学出版社2010年6月出版, ISBN978-7-313-06516-2,第一本关于薄膜体声波谐振器科学与技术基础方面的中文著作;

(4)Nanowelded Carbon Nanotubes: From Field-Effect Transistors to Solar Microcells,Springer-Verlag(ISBN10: 3642014984),创新技术专著;

(5)"Diamond Crystals, Growth of ", Encyclopedia of Materials: Science and Technology, Elsevier Science,Chapter 6.5.20 ,2113-2118 (2004),被国际半导体金刚石研究者推荐撰写了大百科材料全书的一个相关章节。

  已获授权国际发明专利2项,中国发明专利51项,已转让和授权专利多项,承担和完成973、863、国家自然科学金重点项目等十几项科研项目和几项军工尖端科技项目,产生了显著的社会效益和经济效益。

  曾获2014年上海市自然科学二等奖(排1)、上海市优秀博士论文导师;2011年上海市发明金奖(排1);2010年国家百篇优秀博士论文导师;2007年中国教育部自然科学奖二等奖(排2); 2005年国家自然科学二等奖(排2); 1998年单篇论文被SCI引用次数全国个人排名第七名证书。

 研究领域:

  纳米材料与器件、电子科学与技术,主要包括:光伏技术、巨吸附与敏感材料、量子线器件(太阳电池、传感器、 FET 、 TFT 等)、纳米加工技术(纳米焊接、纳米剪切、表面修饰、钝化、形状记忆分子材料、纳米材料操纵排布与组装、光刻、等),半导体和金属纳米晶须(主要包括: Si 、 SiC 、 Ge 、 ZnO 、 SnO2 、 Ni 、 Co 、 Fe3O4 纳米线)制备和应用等。发现了无催化剂的氧化物辅助气相蒸发法大量制备硅和锗等单晶纳米线的方法,提出了在纳米空间范围内通过相分离、扩散和晶化过程的单晶纳米线生成机理,为许多种单晶纳米线材料的氧化物辅助气相蒸发法大量制备提供了生长机理理论模型。建立了关于 DLC// 金刚石 // 石墨生成过程的化学气相表面反应条件和生长理论机制,理论上解释了化学气相条件下金刚石的生长表面形态、生长条件和生长速率。创立了以相转移几率为基础的金刚石生长机理理论,建立了统计物理学方法研究金刚石生成条件的温度 - 压强图。发明了基于超高频声波作用的纳米焊接技术,实现了纳米材料与宏观结构的牢固焊接加工。提出了多沟道碳纳米管场效应器件和非对称肖特基势垒碳纳米管光伏电池。

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