“薄膜与微细技术教育部开放实验室”建立于1993年8月，总体定位是瞄准薄膜与微纳技术国际前沿，根据我国经济与社会发展对功能薄膜、纳米材料和微细加工技术与器件发展的重大需求，面向相关领域发展趋势和关键科学问题，系统、深入地开展创新性科学基础和应用基础研究。注重多学科交叉，将薄膜和微细技术与信息、材料、能源、生物技术有机结合，形成了具有紧密联系、互为依托的三个主要研究方向：薄膜纳米材料与器件，微纳结构加工，智能微系统技术及应用。具备了深厚的学术底蕴和特色，承担和完成多项国家重大科技任务，取得了一批创新性研究成果，为科学前沿发展、国家经济建设和优秀人才培养提供了有力的支持。特别是在低功函数掺杂金刚石功能薄膜特色应用、人工类神经元传感、高质量氧化石墨烯的规模化制备与应用、纳米粒子特异效应、疾病诊疗一体化、兼容多种结构功能一体化加工制造及其应用等研究方面，形成了具有创新性的重要成果。
创办的专业国际英文学术期刊Nano-Micro Letters在国内外的学术地位进一步提升，最新影响因子达到26.6。期刊JCR学科排名位居Q1区前10%，国内期刊中材料、纳米、物理三个学科均排名第一，形成了具有重要国际影响力的学术交流平台。五年来，实验室发表SCI论文697篇；出版教材与专著13部，包括5部英文专著，8部中文专著；授权发明专利365项，国际专利授权4项，另外获得计算机软件著作权10项；成果转化14项，转化总经费达到715万元。获得教育部高等学校科学研究优秀成果奖（科学技术）一等奖1项，二等奖1项，中国电子学会自然科学奖二等奖1项，其他省部级奖励6项。
实验室注重人才培养和队伍建设，构建了高水平人才队伍和研究条件，拥有多位在国际上有一定影响的优秀学者和进入国家和省部级各项人才计划的青年骨干人才，学术队伍老中青结构层次合理。实验室努力建成创新思想和高新技术的发源地、优秀人才的聚集地，最终发展成为具有国际影响力的实验室。
